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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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三氟碘甲烷 CAS號(hào):2314-97-8 半導(dǎo)體蝕刻材料

更新時(shí)間:2020-07-04 點(diǎn)擊數(shù):4731

三氟碘甲烷CF3I作為一種新型環(huán)保絕緣氣體,替代SF6應(yīng)用于電力行業(yè)。它具有良好環(huán)境特性,絕緣強(qiáng)度優(yōu)于SF6CF3I的擊穿分解不會(huì)產(chǎn)生有毒產(chǎn)物,一定條件下對(duì)絕緣強(qiáng)度等不會(huì)產(chǎn)生負(fù)面影響。

產(chǎn)品指標(biāo)

產(chǎn)品用途:

三氟碘甲烷作為滅火劑有滅火效率高、安全性能好、滅火后不留痕跡等特點(diǎn),是哈龍1301優(yōu)選替代品種;作為制冷劑,具有油溶性和材料相容性好的特點(diǎn),是傳統(tǒng)氟利昂制冷劑的理想替代品種之一。作為精密儀器清洗劑,對(duì)油污清洗徹底,不需要添加表面活性,且氣體循環(huán)使用,不產(chǎn)生二次污染。醫(yī)藥級(jí)三氟碘甲烷廣泛應(yīng)用于抗癌藥物(ABT263,ABT737)。高純?nèi)饧淄榭捎糜诎雽?dǎo)體刻蝕,與同種刻蝕氣體CF4、C4F6相比,蝕刻時(shí)具有更高的選擇性和高深寬比。      

包裝、貯存:

三氟碘甲烷充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為1L、4L、40L、47L、100 L,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。三氟碘甲烷儲(chǔ)存干陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房,遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃,儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。



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