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半導(dǎo)體制程(支撐)材料

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三氟化磷

更新時(shí)間:2020-12-04 點(diǎn)擊數(shù):1225

三氟化磷,是一種無(wú)機(jī)化合物,化學(xué)式為PF3,在常溫常壓下為無(wú)色無(wú)味的有毒氣體,液態(tài)時(shí)為無(wú)色透明液體,空氣中不太發(fā)煙,相當(dāng)穩(wěn)定,加熱時(shí)與氫反應(yīng)生成PH3,能與水反應(yīng)生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解。可溶于乙醇。除在高溫外,不腐蝕玻璃。


產(chǎn)品指標(biāo):

 產(chǎn)品用途

三氟化磷是一種重要的化學(xué)試劑,在工業(yè)和科研領(lǐng)域有著多種用途。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,三氟化磷可作為摻雜劑,用于摻雜硅等半導(dǎo)體材料,從而改變其電子特性。


包裝、貯存:

三氟化磷充裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中,鋼瓶容積分別為10 L、50L、100L等。具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。

儲(chǔ)存于陰涼、干燥、通風(fēng)良好的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。防止陽(yáng)光直射。保持容器密封。應(yīng)于堿類、氧、氟、食用化學(xué)品等分開(kāi)存放,切記混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄露應(yīng)急處理設(shè)備。



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