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乙硼11烷,又稱六氫化二硼、硼乙烷,分子式為B2H6,相對(duì)分子量為27.67。乙硼烷在正常條件下(15℃,101.325kPa)是一種無色、易燃、易分解、具有令人惡心的煙火氣味和微甜味道的高毒氣體。乙硼烷是一種非常活潑的化合物,常溫下就不很穩(wěn)定,會(huì)緩慢地分解生成各種不同含量的硼氫化合物,同時(shí)會(huì)放出氫氣。乙硼烷遇水立即水解,最終得到硼酸和大量的氫氣。乙硼11烷在電子工業(yè)中作為氣態(tài)雜質(zhì)源、離子注入和硼摻雜氧化擴(kuò)散的摻雜劑使用。
產(chǎn)品用途
乙硼11烷可在微電子、平板顯示、太陽能電池、LED、光纖、醫(yī)藥、核電等領(lǐng)域應(yīng)用,也可用作聚合催化劑、火箭和導(dǎo)彈的高能燃料。乙硼11烷在半導(dǎo)體制造中用作硅材料的p型摻雜源,用于半導(dǎo)體生產(chǎn),硅和鍺的外延生長、鈍化、擴(kuò)散和離子注入。
包裝、貯存
乙硼11烷存放于不銹鋼鋼瓶中,在室溫條件下,鋼瓶內(nèi)純乙硼11烷每月要分解10%~20%,在低溫下乙硼11烷可以貯存幾個(gè)月且分解速度低得多,但乙硼11烷儲(chǔ)存溫度不應(yīng)低于-80℃。儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)遠(yuǎn)離明火、火花、熱源,并應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
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