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硼11酸三乙酯又稱硼酸乙酯、三乙氧基硼,化學(xué)式為C6H15BO3,分子量為145.99,熔點(diǎn)為-84.5℃,沸點(diǎn)為117.5℃。硼11酸三乙酯為無色透明液體,有輕度氣味,有顯著的熱穩(wěn)定性,能與乙醇、乙醚混溶,遇水分解。硼11酸三乙酯可作為摻雜源摻入到硅片表面薄層中,并使其達(dá)到規(guī)定的數(shù)量和符合要求的分布形式,以改變半導(dǎo)體的電化學(xué)性質(zhì),可以制造PN結(jié)、電阻、互聯(lián)線等。
產(chǎn)品指標(biāo)
產(chǎn)品用途:
硼11酸三乙酯可用于半導(dǎo)體元器件的制造中,以改變半導(dǎo)體的電化學(xué)性質(zhì),也可用作其他有機(jī)硼化物的合成、增塑劑及焊接助熔劑。
包裝、貯存:
電子級硼酸三乙酯貯存在標(biāo)準(zhǔn)無縫鋼瓶中,包裝規(guī)格為19L,具體包裝規(guī)格可根據(jù)用戶需求定制更改。產(chǎn)品儲存于干燥、通風(fēng)良好的庫房中,禁止堆放,遠(yuǎn)離火種、熱源,防止雨淋、陽光直射,應(yīng)與氧化劑、食用化學(xué)品分開存放。
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